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Digital rendering of gas bubbles floating on a blue background
提高微電子設施中的溶解氣體控制效率

3M溶解氣體控制解決方案

諮詢3M應用工程師

溶解氣體控制

隨著半導體加工、平板顯示器生產和其他高科技行業的線寬更小、晶圓尺寸更大、顯示技術更先進,溶解氣體控制成為影響超純水品質的關鍵考慮因素。

3M™ Liqui-Cel™膜接觸器具有高效性、簡單性和強大的氣體去除性能,是半導體和平板顯示器水處理系統中廣泛使用的脫氣技術。

與傳統的真空塔不同,這些膜脫氣系統的使用範圍更廣。隨著水量要求的增長或溶解氣體規格的降低,可在系統中增加額外的接觸器以滿足不斷變化的需求。

對於超純水和其他相容的濕法工作台製程流體中的溶解氣體,3M Liqui-Cel膜接觸器還能實現低濃度和精確控制。


3M Liqui-Cel膜接觸器 - 工作原理

先進的溶解氣體控制

溶解氣體控制應用

3M™ Liqui-Cel™膜接觸器設計緊湊,可實現高效的溶解氣體控制。這些氣體輸送裝置可向相容的液體流中添加氣體,或去除溶解的氣體和氣泡,並採用中空纖維膜技術,有助於世界各地的相關設施提高運行效率、性能,同時確保產品品質。20多年來,這些裝置在全球範圍內取代了真空塔、強制通風除氧器和除氧劑。3M擁有經驗豐富的技術支援和服務,可通過合作方式提供溶解氣體控制解決方案,從而確保滿足要求和預期。
去除O₂和CO₂

3M™ Liqui-Cel™膜接觸器可將水中的 O₂濃度降至1 ppb以下,還可將溶解的CO₂濃度降至0.5 ppm。氧氣溶解水準較低,有助於確保產品產量,同時CO₂含量低還有助於提高電去離子系統(EDI)和其它離子交換裝置的效率。膜接觸器結構緊湊,可線上操作,並且無需化學品。

20多年來,3M Liqui-Cel在全球範圍內取代了真空塔、強制通風除氧器和除氧劑。3M擁有深入的技術支援和服務,可通過合作方式提供溶解氣體控制解決方案,從而確保滿足要求和預期。


特色產品

  • 3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接觸器
    3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接觸器

電鍍電解液

電鍍解決方案需要嚴格的顆粒和溶解氣體控制,以防止沉積金屬層出現缺陷和雜質。3M可提供顆粒和溶解氣體解決方案,以滿足您的電鍍製程需求。


特色產品

廢氨處理

3M Liqui-Cel膜接觸器適用於各種氣體輸送應用,可從水溶液體中脫除溶解氣體。例如,從含氨量高的進水中脫除氨氣,並通過活性酸溶液直接吸收。

該裝置可同時去除和回收氨。這種製程稱為TMCS (透膜化學吸附)。3M Liqui-Cel膜接觸器適用於各種氣體輸送應用,可從水溶液體中脫除溶解氣體。在透膜化學吸附 (TMCS) 製程中,氨氣從含有高濃度氨的廢水中脫離出來,擴散穿透過中空纖維膜壁,並由活性酸溶液直接反應吸收。因此可通過相同裝置同時去除和回收氨。


特色產品

  • 應用於跨膜化學吸附 (TMCS) 的 3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接觸器
    應用於跨膜化學吸附 (TMCS) 的 3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接觸器

功能水

3M™ Liqui-Cel™膜接觸器最常見的應用是將超純水中的溶解氣體(如氧氣)濃度降至極低水準。3M Liqui-Cel膜接觸器中的微孔膜還能有效地將純淨氣體和特定混合氣體加回超純水。超純水有時稱為“機能水”,可精確加入少量氣體(如CO₂、NH₃、N₂和H₂),以調整電導率水準或提高各生產步驟中超純水的清潔效率。

3M Liqui-Cel膜接觸器可實現自動化、精確的氣體添加控制,同時避免形成氣泡,幾乎不產生廢料。


特色產品

  • 3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接觸器
    3M™ Liqui-Cel™ EXF系列膜接觸器


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