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3M™ 光熱轉換 LTHC 塗層 LTHC INK, 18 kg
- 3M ID 7100066112
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詳細訊息
產品亮點
- 使用雷射激發膠材與玻璃載體介面能在無應力與室溫下分離
- 用鐳射解鍵合時可以使玻璃和晶圓正面在常溫下無應力的輕鬆分離
- 與常用半導體試劑均相容
- 無殘留剝離
- 用作 3M™ 晶圓支撐系統的一部分
3M™ 光熱轉換LTHC塗層為溶劑型、旋塗式油墨塗層。為WSS晶圓臨時鍵合和解鍵合方案專用的玻璃釋放塗層。
臨時黏合和剝離過程中的光熱轉換
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A. 半導體晶圓
B. 3M™ UV-固化膠 LC-3200
C. 3M™ 光熱轉換塗層（LTHC ）
D. 玻璃載體3M™ 光熱轉換塗層 (LTHC) 提高了半導體晶圓加工的效率。 它在玻璃載體和黏合劑之間形成一塗層，在雷射照射期間將光轉化為熱——這有助於降低剝離所需的雷射強度。 這種光熱轉換還可以在室溫下以極小的力實現乾淨的黏合劑解離，保持玻璃載體的完整性，以便重複使用和回收。
規格
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