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3M™ Fluorinert™ 電子氟化液 FC-40是一種無色透明全氟液體,具化學和熱穩定,無毒且不燃等特性。高介電強度,優異的材料相容性,尤其適用於電子和半導體產業的檢測設備、化學汽相沉積、TFT生產。
透明、無色、不導電、不可燃、無殘留、具有熱穩定性和化學穩定性的液體,非常適用於許多傳熱流體應用。其廣泛的液程(-57 °C至165 °C)和高材料相容性使其非常適用於各種電子單相和雙相傳熱應用,包括半導體市場的蝕刻機、離子植入機、測試機、CVD和TFT製造等。由於 FC-40 的沸程較窄,因此其成分隨時間變化很小,這將流體損失降至最低,並確保傳熱的一致性。