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從高純度的化學品(例如樹脂、光阻劑和溶劑),過濾金屬離子汙染物
濾除微量金屬到10 ppb以下
分級密度構造增加了流體和淨化器盤的反應部位之間的接觸時間
3M™ Zeta Plus™ 40Q 系列濾盤可從高純度的化學品(例如樹脂、光阻劑和溶劑),單次通過過濾金屬離子汙染物。淨化器內含結合於多孔深度濾材結構的離子交換群,提高表面積並濾除金屬汙染物到10ppb以下。