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3M™Trizact™研磨液DT-100是一種低粘度研磨料漿,用於拋光藍寶石和碳化矽等超硬基材。當與3M™Trizact™研磨墊一起使用時,這種CMP漿料可提供最高性能。
Trizact複合研磨液DT-100由獨特的三乙二醇金剛石複合材料組成,具有良好的表面光潔度和高去除率,可實現經濟研磨。這種漿料有1.5微米和3微米兩種尺寸,以滿足一系列研磨和拋光需求。它是為該工藝的粗研磨步驟設計的。產品中的三甘醇與水相溶,易於清洗。
品牌 | Trizact™ |
應用領域 | 劃痕修復, 拋光, 研磨, 表面線紋處理 |
產品用途 | 半導體晶圓, 超硬基材 |
被著體 | 氮化矽, 氮化鎵, 矽鋁, 砷化鎵, 碳化矽, 藍寶石, 鉭酸鋰 |
產品技術檔案
(PDF , 124KB)
產品技術檔案
(PDF , 123KB)
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