3M™ Trizact™ 鑽石研磨盤

3M™Trizact™CMP研磨盤具有精密的3D研磨結構，對於看重一致性的工藝來說是理想的選擇。陶瓷結構採用微米級鑽石塗層。通過顯微複製——3M應用於半導體製造中先進制程的核心技術——這些結構在3M Trizact™CMP研磨墊表面平整重現。此外，您可以選擇各類形狀如尖端型，高度分散型，以便適配您的應用。研磨時間更長，性能一致，CMP研磨盤壽命更長，表面磨損度可精準預測。