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3M™ Betapure™ CMP系列 液體過濾膠囊 CMP510C04LC06, 4", 0.3um, 3/8" Flaretek with 1/4" Vent/Drain, EPR
- 3M ID 7000001854
- UPC 00016145250491
詳細訊息
產品亮點
- 漸進式多孔設計，具優異的硬性/軟性膠體粒子去除效果，能有效降低缺陷率並提高良率。高容雜量可減少停機 (downtime) 且提升整體設備效率 (OEE)。
- 低壓損，降低研磨液產生流體剪切應力的可能性。
- 100%聚丙烯結構，為未使用黏著劑和界面活性劑的安全性濾材。具低溶出性，對高/低pH值的研磨液皆具備極佳的耐化性。
- 拋棄式膠囊設計便於快速安裝、減少停機和誤觸危險化學物的機率。
- 高品質製造流程，使用ISO認證品質管制系統。
3M™ Betapure™ CMP系列 液體過濾膠囊為具備高處理量的深層式過濾濾芯，適合過濾化學機械平坦化 (CMP) 製程中的氧化物與金屬研磨液。Betapure™ CMP系列濾芯以聚丙烯製成，具多層漸進式多孔過濾設計以優化粒子分離效果，達到低壓損、延長濾芯使用壽命的優點。 3M™ Betapure™ CMP系列濾芯能有效降低大粒徑微粒 (LPC, large partical counts)、減少其影響良率的可能性，同時維持研磨液拋光的良好特性。除半導體，Betapure™ CMP系列亦適用於資料儲存、資料傳輸、LED等相關過濾應用。
規格
| 去除物質 | Hard and soft gel contaminants |
| 品牌 | Betapure™ |
| 墊片/O型環材質 | EPR |
| 微米額定值 | 0.3 μm |
| 最高工作溫度 (攝氏) | 40 °C |
| 每盒數量 | 1.0 |
| 產品系列 | CMP |
| 系列 | Betapure™ CMP Series |
| 行業 | 工業 |
| 進/出口連接 | 4" 3/8FLRTK VNTDRN EPR |
| 過濾器種類 | 深度 |
| 過濾技術 | 無紡布 |
| 過濾材料 | 聚丙烯 |
| 直徑 (公制) | 97.79 mm |
| 總寬度 (公制) | 9.8 公分 |
| 總長度 (公制) | 101.6 mm |
